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    理論計算於矽基材表面碳化機制的研究
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 鄭鈞文 指導教授: 江志強
    • 本論文使用ab initio分子軌域理論計算反應位能曲線,再配合過渡態理論,求得反應速率常數,以尋求矽基材碳化初期表面反應的主要發生途徑。有關量子化學計算,皆採用 B3LYP/6-31+G(d) 層…
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